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離子束刻蝕系統(tǒng) 
 

離子束刻蝕系統(tǒng)：
離子束刻蝕系統(tǒng)是為無塵室操作而設(shè)計的，Nanoquest II使得蝕刻模塊始終呆在無塵室的服務(wù)區(qū)內(nèi)。系統(tǒng)元件，如防護(hù)物和其他耐用部件，很容易在服務(wù)區(qū)存取。雙門蝕刻模塊可以使維修從試驗箱的任何一側(cè)開始。UHV設(shè)計規(guī)則確保該蝕刻模塊和負(fù)載鎖定試驗箱有較低的基地壓力。高速真空泵不僅提供了快速泵，而且同時也減少了離子束氣體的碰撞。

Intlvac 的Nanoquest II離子束刻蝕系統(tǒng)新整合了一個水冷旋轉(zhuǎn)階段，一個22厘米RF 離子源，一個不銹鋼真空箱，低溫高真空泵系統(tǒng)，自動水泵和通風(fēng)口，高真空計大氣，流量控制器，試驗箱櫥.

高性能:
帶有150毫米和100毫米晶圓壓盤的Nanoquest是專為較小型號晶圓板批處理加載碳涂層配置所設(shè)計。100毫米直徑范圍內(nèi)的均勻性為± 3 ％，晶圓與晶圓的可重復(fù)性± 2 ％ 。 Nanoquest是您加工的理想平臺。
系統(tǒng)配置和布局:
真空箱是運(yùn)用UHV可兼容裝配技術(shù)，全部使用不銹鋼材料建造而成，其外觀經(jīng)過電拋光處理，整潔，美觀。連續(xù)的不銹鋼冷卻管道焊接在箱體外面，成網(wǎng)狀，提供高效率的散熱片。

離子束刻蝕系統(tǒng)：
◆ 單晶圓負(fù)載鎖定離子束刻蝕系統(tǒng)可用于最大150毫米的晶圓。
◆ 用戶可通過電感耦合等離子體屏柵離子源選擇光束電壓和電流密度。
◆ 在離子束的運(yùn)行期間，基板階段使得水冷系統(tǒng)在積極運(yùn)作的同時旋轉(zhuǎn)，傾斜。
◆ “低調(diào)的”無塵室界面把儀器箱和蝕刻模塊放在無塵室墻壁后面。
 

公司介紹：

愛派克公司成立于1999 年，從事國際領(lǐng)先測試技術(shù)和產(chǎn)品的代理業(yè)務(wù)，為國內(nèi)主要的科研單位、高等院校、檢測機(jī)構(gòu)以及為數(shù)眾多的軍工企業(yè)、汽車企業(yè)、電子企業(yè)、裝備工業(yè)、外資企業(yè)、新能源領(lǐng)域提供全球領(lǐng)先的測試產(chǎn)品、檢測技術(shù)和售后服務(wù)。

Excellent 卓越的品質(zhì)：

“匯集世界- 惠及中國”是愛派克公司的使命，我們致力于引進(jìn)全球最領(lǐng)先的測試技術(shù)和檢測設(shè)備，形成我們具備核心競爭力的集成解決方案；今天愛派克已經(jīng)成為八個國家的十多家公司在中國的合作伙伴。這些全球最知名的檢測設(shè)備制造商采用最新的科技和最先進(jìn)的設(shè)備為中國客戶提供最先進(jìn)的技術(shù)和專業(yè)的服務(wù)，提供高可靠性的產(chǎn)品和解決方案。

Professional 專業(yè)的團(tuán)隊：

公司的技術(shù)團(tuán)隊由具有海外教育背景的博士、碩士和經(jīng)過國外廠商專業(yè)培訓(xùn)的資深工程師組成，具有極高的專業(yè)素質(zhì)，為重點客戶提供長期、專業(yè)、全方位的技術(shù)服務(wù)。

 Comprehensive 全面的服務(wù)：

 愛派克公司在北京、上海、廣州、西安和香港設(shè)有分公司和辦事處服務(wù)全國用戶。公司提供的服務(wù)包括：檢測咨詢、方案設(shè)計、實驗室規(guī)劃、產(chǎn)品銷售、培訓(xùn)服務(wù)、設(shè)備維護(hù)、升級改造、檢測服務(wù)；以及根據(jù)客戶需求進(jìn)行新產(chǎn)品的研發(fā)和定制。

Original 創(chuàng)新的理念：

 創(chuàng)新是企業(yè)發(fā)展的動力，愛派克公司將廠商、用戶融入到公司創(chuàng)新體系中，形成最為和諧的創(chuàng)新利益結(jié)合體；通過不斷地進(jìn)行組織創(chuàng)新提供更好的服務(wù)團(tuán)隊，產(chǎn)品創(chuàng)新提供最好的設(shè)備，服務(wù)創(chuàng)新提供更及時的服務(wù)，利益鏈創(chuàng)新能夠把廠商、用戶和公司有效地鏈接形成共贏的團(tuán)體。